PECVD 24 kW / 2450 MHz

Plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD 24 kW

Produktinformationen

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Allgemeines
Leistung
24 kW
Frequenz
2450 MHz
Technische Daten
Betriebsgas
Ar-CH4
Netzteil
SMPS air cooling
Reaktorausgang
Water-cooled flange
Hohlleiter
WR340
Key Features
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Key Feature
Key Feature
Key Feature
Key Feature
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External dimensions
Width
mm
Height
mm
Depth
mm

Beschreibung

Plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD 24 kW

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