Die Mikrowellen-Koaxial-Plasmquelle ist ein atmosphärisches Plasmasystem, das in der Lage ist, Plasma mit einer Frequenz von 915 MHz bei relativ geringer Leistungsaufnahme zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Eine 5-kW-Mikrowellen-Plasmaanlage wurde speziell für den Betrieb unter Bedingungen mit geringem Gasdurchfluss entwickelt, wobei Argon und Wasserstoff als Prozessgase verwendet werden. Die resultierende Plasmaumgebung und Flammentemperatur sind für Pulversyntheseanwendungen optimiert.

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